油压设备中常用传感器工作原理

油压机半导体式压力传感器的工作原理
半导体晶体在受到一个外力作用时，因半导体的压阻效应，其内部的电阻会发生大的改变。利用测出电阻改变量制成的压力传感器称半导体传感器。将硅单晶基板的中央部分腐蚀 成薄膜状的硅环，再利用的扩散工艺制成由四个半 导体应变片构成的惠斯通电桥，测量出电阻改变量， 便可测出液体的压力。

油压机电式压力传感器的工作原理
压电式压力传感器是利用晶体的正压电效应制成的传感器。所谓压电效应，是指压电晶体在 外载荷(液体压力)的作用下产生机械变形，在其极化面上会产生电荷，且产生的电荷量与外部 施加的力成正比，因此测得电荷量便可测出液体压力的大小。
压电效应是一种静电效应，压电元件受力所产生的电荷很微弱，加上其他因素，输出信号很 弱，所以传感器的输出信号必须由低噪声电缆引人高输入阻抗的电荷放大器，该放大器是具有深度电容负反馈的高增益放大器，其等效电路见为压电式压力传感器的结构原理。被测液体压力作用在膜片上，膜片将力传给压电晶体，晶体受沿极化方向的力作用后，产生厚度方向的压缩变形，因压电效应产生电荷。
(a)压电式压力传感器(b)电荷放大器等效电路压电式压力传感器及电荷放大器等效电路由两极板收集引向测量电路。
压电式压力传感器结构简单，性能优良，测压范围广，可在高温环境下工作，常被应用到四柱油压机设备上。